Во второй половине тридцатых годов в Германии начались работы над созданием ракетного двигателя, пригодного для использования в качестве главной силовой установки перспективных истребителей либо в качестве вспомогательного стартового ускорителя тяжелых бомбардировщиков. На заводе фирмы Walter началась работа по созданию жидкостного реактивного двигателя RI-203 тягой 4кН, который планировалось установить на экспериментальной машине He.176. Однако исследования показали, что конструкция He.176 не совсем подходит для установки этого двигателя, что было подтверждено полетными испытаниями самолета.

Было выдвинуто предположение, что наиболее полно достоинства реактивного мотора будут реализованы в схеме "бесхвостка". Поскольку самым авторитетным специалистом в области создания машин такой конструкции в то время являлся Alexander Lippisch, ему и была поручена разработка экспериментального самолета с дельтовидным крылом, оснащенного реактивным двигателем. В составе института исследований в области планеризма (DFS) была организована специальная группа конструкторов, в обязанности которых входила работа над совершенно секретным проектом "X".

Постройку цельнометаллического фюзеляжа опытной машины поручили фирме Heinkel, так как завод DFS не имел необходимого для этого оборудования. Первоначально предполагалось адаптировать под новый двигатель самолет DFS.39, но после продувки модели в аэродинамической трубе в конструкцию деревянного крыла был внесен ряд изменений. Наиболее заметной доработкой стал демонтаж небольших вертикальных килей с законцовок крыльев. Новый проект получил обозначение DFS.194.

В связи с длительной задержкой в поставке реактивного мотора Липпиш принял решение оснастить самолет поршневым двигателем воздушного охлаждения с толкающим винтом, размещенным в хвостовой части фюзеляжа. Установка поршневого мотора позволяла провести ряд необходимых испытаний планера самолета.

В конце 1938 года из-за проволочек в сборке фюзеляжа фирмой Heinkel, Липпиш принял решение сосредоточить под своим руководством все работы. Разработка самолета была перенесена в компанию Messerschmitt, куда перевезли частично готовые DFS.194. Проект ракетного перехватчика получил новое обозначение Me.194, а затем (после введения сквозной нумерации) - Me.163.

В начале 1940 года, после долгожданного прибытия готовых двигателей Walter RI-203, поршневые моторы с самолета DFS.194 были сняты, а фюзеляж подготовлен под установку ЖРД. Первый полет был выполнен 3 июня 1940 года. Hесмотря на проблемы с двигателем и топливом, а также небольшую продолжительность полета, испытания оказались ободряющими. Скороподъемность была отличной, а летом 1940 года была достигнута скорость 547км/ч. Успешное опробование нового мотора на DFS.194 резко увеличило темп работ над Me.163.